Chinesische Ingenieure beschädigen ASML DUV-Maschine bei Reverse-Engineering-Versuch

Eine Geschichte, die fast zu absurd klingt, um wahr zu sein: Chinesische Ingenieure versuchten, eine hochkomplexe Lithografie-Maschine von ASML zu zerlegen, um ihre Technologie zu verstehen – und zerstörten sie dabei. Am Ende mussten sie ausgerechnet die niederländische Firma um Hilfe bitten, das Gerät wieder in Gang zu bringen.

Wie mehrere internationale Medien berichten, wollten chinesische Techniker die DUV-Lithografiemaschine von ASML auseinandernehmen, um herauszufinden, wie sie funktioniert. Ziel war es, die Technologie zu entschlüsseln, die China aufgrund westlicher Exportbeschränkungen verwehrt bleibt. Doch statt eines technologischen Durchbruchs erlebten sie einen kapitalen Fehlschlag: Das Gerät ging kaputt, und die Ingenieure sahen sich gezwungen, ASML selbst um Unterstützung zu bitten.

ASML mit Sitz in den Niederlanden ist der unangefochtene Weltmarktführer in der Lithografie – einer Schlüsseltechnologie zur Herstellung moderner Chips. Ihre EUV-Systeme dürfen aufgrund internationaler Sanktionen nicht nach China exportiert werden, und selbst die älteren DUV-Modelle sind wahre Meisterwerke der Ingenieurskunst. Sie bestehen aus Tausenden präziser optischer und mechanischer Komponenten, die nur unter strengsten Bedingungen funktionieren. Schon kleinste Abweichungen in der Kalibrierung können katastrophale Folgen haben.

Als ASML-Techniker nach China reisten, um das defekte Gerät zu reparieren, stellten sie schnell fest: Die Maschine war nicht einfach ausgefallen – sie war regelrecht auseinandergenommen und fehlerhaft wieder zusammengebaut worden. Laut Insidern war der Schaden erheblich. Zwar hat ASML den Vorfall nicht offiziell bestätigt, doch Branchenbeobachter halten ihn für durchaus plausibel – angesichts Chinas enormem Druck, im Halbleitersektor unabhängig zu werden.

Chinas Halbleiterindustrie steckt seit Jahren in einem Dilemma. Ohne Zugang zu den modernsten Lithografiesystemen bleiben Firmen wie SMIC auf ältere Fertigungsverfahren beschränkt. Der Versuch, ASMLs Technologie zu imitieren, erscheint als logischer, wenn auch riskanter Schritt. Doch die Komplexität solcher Maschinen ist kaum zu übertreffen: Jahrzehnte der Forschung, Milliardeninvestitionen und hochspezialisierte Zulieferketten machen Nachbauten fast unmöglich.

Einige Experten sehen den Fehlschlag nicht als Blamage, sondern als unvermeidlichen Teil des Lernprozesses. Jede misslungene Demontage bringt Erkenntnisse, die langfristig Fortschritte ermöglichen könnten. Andere wiederum halten das Vorgehen für überheblich – als Versuch, eine Technologie zu kopieren, die selbst westliche Staaten kaum vollständig verstehen.

Ein Brancheninsider brachte es auf den Punkt: „Eine ASML-Maschine auseinanderzunehmen ist, als würde man einen Düsenjet mit einem Schraubenzieher reparieren wollen.“ Und dennoch zeigt die Episode, wie entschlossen China ist, sich aus der technologischen Abhängigkeit des Westens zu lösen – auch wenn der Weg dorthin über einige defekte Maschinen führt.