TSMC baut in Taichung einen 48,5-Mrd-$-Campus für A14 (1,4 nm). Spannungsfeld: aggressives Multi-Patterning vs. Intels High-NA-Kurs bei 14A. Erstes Modul Ende 2027, Volumen 2028 – die Angström-Runde startet jetzt.
High-Na Euv
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