TSMC startet Bau der 1,4-nm-A14-Fabrik in Taiwan und verzichtet auf ASMLs High-NA-EUV-Technologie

Der taiwanische Chipriese TSMC bereitet sich auf den nächsten großen Technologiesprung vor: die Einführung seines 1,4-Nanometer-Prozesses, intern unter dem Codenamen A14 bekannt. Während die Serienproduktion der 2-nm-Chips Ende 2025 starten soll, arbeitet das Unternehmen bereits an der noch fortschrittlicheren Generation.

Laut Berichten der Commercial Times wird TSMC den Bau seiner neuen 1,4-nm-Fabrik in Taichung noch in diesem Jahr beginnen. Die Massenproduktion ist für die zweite Hälfte des Jahres 2028 geplant.

Die Forschung und Entwicklung des A14-Prozesses findet im F&E-Zentrum von TSMC in Hsinchu statt, während in Taichung bereits Ingenieure eingestellt werden. Im August erhielt das Unternehmen die Baugenehmigungen für drei große Gebäude – ein klarer Hinweis darauf, dass die Vorbereitungen bereits laufen. Der geplante Anfangsinvestitionsbetrag liegt bei rund 1,5 Billionen NT-Dollar (etwa 49 Milliarden US-Dollar). Ein erheblicher Teil davon soll in den Kauf von rund 30 EUV-Lithografiemaschinen im Jahr 2027 fließen.

Überraschenderweise wird TSMC jedoch keine der neuen High-NA-EUV-Maschinen von ASML für diesen Prozess einsetzen. Diese modernsten Anlagen kosten etwa 400 Millionen US-Dollar pro Stück – ein Preis, den selbst TSMC derzeit nicht für gerechtfertigt hält. Branchenbeobachter wie Dan Nystedt vermuten, dass die Entscheidung auf TSMCs Vertrauen in seine bestehende EUV-Infrastruktur zurückzuführen ist. Durch den Einsatz von fortgeschrittenen Multi-Patterning-Techniken glaubt das Unternehmen, auch ohne High-NA-Technologie 1,4-nm-Strukturen realisieren zu können.

Diese Methode ist jedoch anspruchsvoll: Mehrfache Belichtungen pro Schicht machen den Prozess zeitaufwändig und teuer. In den ersten Phasen könnten die Ausbeuten niedrig sein, weshalb TSMC den Prozess schrittweise optimieren muss. Im Gegensatz zur chinesischen SMIC, die ähnliche Tricks für ihre 5-nm-Chips nutzt, verfügt TSMC über die nötigen EUV-Geräte und jahrelange Erfahrung – ein entscheidender Vorteil. Da der Produktionsstart erst in einigen Jahren ansteht, bleibt genügend Zeit, um die A14-Technologie zu perfektionieren.

TSMC erwartet, dass der 1,4-nm-Prozess den Energieverbrauch um bis zu 30 % im Vergleich zum 2-nm-Knoten senken wird – ein bedeutender Fortschritt, besonders für Rechenzentren, KI-Anwendungen und Hochleistungsprozessoren. Mit dieser Investition festigt TSMC nicht nur seine technologische Führungsrolle, sondern stärkt auch Taiwans Position als Herzstück der globalen Halbleiterindustrie. Während Intel und Samsung noch an ihren eigenen 3-nm-Prozessen feilen, setzt TSMC bereits zum nächsten Quantensprung an.